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J-GLOBAL ID:200901052083988027
Update date: Jan. 22, 2020
Fukuda Makoto
フクダ マコト | Fukuda Makoto
Affiliation and department:
Hirosaki University Faculty of Science and Technology
About Hirosaki University Faculty of Science and Technology
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Detailed information
Research field (4):
Electronic devices and equipment
, Mechanics and mechatronics
, Robotics and intelligent systems
, Manufacturing and production engineering
Research keywords (8):
精密運動制御
, 光計測
, 精密位置決め
, ナノ・マイクロ加工
, Precise Motion Control
, Optical measurement
, Presice Positioning
, Nano-Micro Fabrication
Research theme for competitive and other funds (7):
2005 - 2007 微細パタン形成法の研究
2005 - 2007 Micro and Nano Patterning
2005 - マイクロ部品のハンドリング
2005 - 精密運動制御の研究
2005 - Micro Parts Handling
2005 - Precise Motion Control
空気静圧送りねじステージの開発
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MISC (3):
Makoto Fukuda, Kimiyoshi Deguchi, Masanori Suzuki. 3-dimensional patterning using fine step motion in SR lithography. J. Vac. Sci. Technol. 2006. B 24(6). 2840-2843
太刀川 博之, 福田 真, 佐藤 海二, 下河辺 明. 空気静圧送りねじ機構を用いた超精密位置決め. 日本機械学会論文集(C編). 2000. 66. 645. 1559-1566
M. Fukuda, M. Suzuki, T. Haga, H. Morita, H. Aoyama, S. Mitsui, T. Taguchi, Y. Matsui. Overlay compatibility between two synchrotron radiation steppers. J. Vac. Sci. Technol. 2000. 18. 6. 2995-2998
Lectures and oral presentations (1):
ワイヤ駆動による顕微鏡下でのマニピュレーション機構
(2007年度精密工学会秋季大会学術講演会 2007)
Professional career (1):
博士(工学) (東京工業大学)
Association Membership(s) (4):
応用物理学会
, 精密工学会
, 日本機械学会
, 計測自動制御学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in
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