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J-GLOBAL ID：200901084286903310   Update date: Sep. 11, 2022

Matsumoto Satoru

マツモト サトル | Matsumoto Satoru
Affiliation and department：
Keio University Faculty of Science and Technology Faculty of Science and Technology, Department of Electronics and Electrical Engineering

About Keio University Faculty of Science and Technology Faculty of Science and Technology, Department of Electronics and Electrical Engineering


Job title： Professor
MISC (265)：
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Books (6)：
  • 基本から学ぶ電子物性
    電気学会 2011
  • 次世代ULSIプロセス技術
    リアライズ社 2000
  • 半導体大事典
    工業調査会 1999
  • 超精密技術体系 第2巻,実用技術「レーザードーピング装置」分担
    フジ・テクノシステム 1994
  • レーザプロセス技術ハンドブック
    朝倉書店 1992
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Lectures and oral presentations  (19)：
  • “Epitaxial Growth of Pure 30Si Layers on a Natural Si(100) Substrate Using Enriched 30SiH4”,
    (First Int’ Workshop on New Group IV Semiconductors 2001)
  • 「GS-MBEの選択成長を用いたc-Si/SiO2低次元構造の作成」
    (電子情報通信学会 2001)
  • 「安定同位体30Siを用いた外因性Si中におけるSi自己拡散」
    (応用物理学会 2001)
  • 「CZ-Si中におけるPの過渡増速拡散、損失に及ぼす窒化膜偏析の影響」
    (応用物理学会 2001)
  • 「Si(100)上へのBPのエピタキシャル薄膜の選択成長」
    (応用物理学会 2001)
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Education (6)：
  • - 1976 Keio University
  • - 1976 Keio University Graduate School, Division of Engineering
  • - 1973 Keio University
  • - 1973 Keio University Graduate School, Division of Engineering
  • - 1971 Keio University
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Professional career (1)：
  • 工学 (慶應義塾大学)
Work history (12)：
  • 1998 - 1999 :慶應義塾大学大学院 ,入試事務長
  • 1999 - -:兼慶應義塾大学大学院先端電気電子工学 ,専修主任
  • 1995 - 1997 :兼慶應義塾大学理工学部電気工学科 ,教室幹事
  • 1994 - 1996 :慶應義塾大学理工学部電気工学科 ,教授
  • 1996 - -:慶應義塾大学理工学部電子工学科兼電気工学科 ,教授
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Committee career (5)：
  • 1989/07 - (社)電気学会 論文委員会 幹事
  • 1989/06 - (社)電気学会 「電子・情報・システム部門誌委員会」 幹事
  • 1988/01 - (社)電気学会 「レーザ励起ドライプロセス調査専門委員会」 幹事
  • 1984/04 - (社)電気学会 論文委員
  • 1979/04 - 1981/03 (社)電子通信学会 海外論文委員
Association Membership(s) (6)：
(社)電子通信学会 ,  (社)電気学会 ,  (社)電気学会 「レーザ励起ドライプロセス調査専門委員会」 ,  (社)電気学会 「電子・情報・システム部門誌委員会」 ,  (社)電気学会 論文委員会 ,  電気学会 「放射光励起プロセス」技術調査専門委員会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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