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J-GLOBAL ID：200902000008874990   Reference number：86A0213391

ESCA compositional profiles and electrical properties of diamond-like carbon film/Si MIS structure.

ダイヤモンド状炭素膜/Si MIS構造のESCA分析と電気的特性

Author (6)： MIZOKAWA YUSUKE (大阪府大総合科) ,  MIYASATO TATSURO (大阪大産科研) ,  KOMODA OSAMU (大阪府大総合科) ,  HASEGAWA SHIGEHIKO (大阪大産科研) ,  TOKUMURA MASAO (大阪大産科研) ,  NAKAMURA SHOGO (大阪大産科研)
Material： 電子通信学会論文誌 C  (Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan. C)
Volume： 69  Issue： 2  Page： 167-175  Publication year： Feb. 1986 
JST Material Number： S0623A  ISSN： 0373-6113  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： diamond ,...

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JST classification (1)： General  (NC03161C)

Terms in the title (6)： ダイヤモンド状炭素 ,  Si ,  MIS構造 ,  ESCA ,  分析 ,  電気的特性