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J-GLOBAL ID：200902000029639100   Reference number：92A0002777

Low energy ion bombardment and microstructural evolution in thin films.

Author (2)： YANG C M (California Inst. Technology, CA) ,  ATWATER H A (California Inst. Technology, CA)
Material： Beam-Solid Interactions: Physical Phenomena  (Beam-Solid Interact Phys Phenom)
Page： 31-36  Publication year： 1990 
JST Material Number： K19910616  ISBN： 1-55899-045-3  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)