Art

J-GLOBAL ID：200902000037227899   Reference number：90A0919526

Temperature dependence of void generation in aluminum line.

アルミ欠損発生の温度依存性

Author (3)： YAMAJI TETSUO (沖電気工業) ,  IGARASHI YASUSHI (沖電気工業) ,  NISHIKAWA SATOSHI (沖電気工業)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 51st  Issue： 2  Page： 592  Publication year： Sep. 1990 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： アルミ ,  欠損 ,  温度依存性