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J-GLOBAL ID：200902000052518255   Reference number：92A0423334

A Study on AlAs Growth on V-groove Nonplanar Substrates by MBE.

MBE法によるV字形ノンプレーナー基板上へのAlAs成長

Author (3)： TANAKA MASAAKI (東大 工) ,  NISHINAGA TSUGUO (東大 工) ,  SHEN X Q (東大 工)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 39th  Issue： Pt 1  Page： 295  Publication year： Mar. 1992 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： MBE ,  V字形 ,  プレーナー ,  AlAs ,  成長