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J-GLOBAL ID：200902000106054829   Reference number：91A0008231

Change of structure and magnetism of stainless-steel sputtered films by post-annealing.

熱処理によるステンレススパッタ膜の構造と磁性の変化

Author (2)： ONO NAOTO (東京工大 工) ,  NAOE MASAHIKO (東京工大 工)
Material： 日本応用磁気学会学術講演概要集  (Digest of the Annual Conference on Magnetics in Japan)
Volume： 14  Page： 21  Publication year： Oct. 1990 
JST Material Number： Y0056A  ISSN： 1340-8100  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： 熱処理 ,  ステンレス ,  スパッタ膜 ,  磁性