Art

J-GLOBAL ID：200902000122837116   Reference number：93A0758110

Pt₃In₇ ohmic contacts to n-type GaAs.

Author (2)： SWENSON D (Univ. Wisconsin, WI) ,  CHANG Y A (Univ. Wisconsin, WI)
Material： Advanced Metallization and Processing for Semiconductor Devices and Circuits - 2  (Adv Met Process Semicond Devices Circuits 2)
Page： 499-504  Publication year： 1992 
JST Material Number： K19930425  ISBN： 1-55899-155-7  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (1)： GaAs