Art

J-GLOBAL ID：200902000150254134   Reference number：89A0297237

Grinding of silicon nitride with a diamond grinding wheel.

ダイヤモンド砥石による窒化けい素の研削

Author (3)： SUZUKI KAZUO (東名ダイヤ) ,  AI KYOSUKE (神奈川県工試) ,  KISHIMOTO YUKIHIRO (神奈川県工試)
Material： 日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集  (日本機械学会東北支部・精密工学会東北支部総会・講演会講演論文集)
Volume： 24th  Page： 56-57  Publication year： Feb. 1989 
JST Material Number： L0012A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： grinding ,...

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JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Terms in the title (3)： ダイヤモンド砥石 ,  窒化けい素 ,  研削