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J-GLOBAL ID：200902001837709499   Reference number：89A0139415

Depth measurement of metallurgically damaged layer on ground surface by acoustic microscope.

超音波顕微鏡を用いた研削時熱影響層の深さ計測

Author (5)： SEMBA TAKUYA (福岡工大) ,  SAKUMA KEIZO (福岡工大) ,  TANI YASUHIRO (東大 生産技研) ,  SATO HISAYOSHI (東大 生産技研) ,  YAMADA NORIO (福岡工大)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 55  Issue： 509  Page： 188-192  Publication year： Jan. 1989 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： acoustic microscope ,...

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JST classification (1)： Nondestructive testing  (HB02030F)

Reference (8)：

• (1) 中島,機械と工具,22-12(昭53),33.
• (2) 仙波•谷•佐藤,機論,53-487,C(昭61),780.
• (3) Weglein, R.D., Appl. Phys. Lett., 34-3 (1979), 179.
• (4) Chimenty, D.E., Nayfeh, A.H. and Butler, D.L., J. Appl. Phys., 53-1 (1982), 170.
• (5) 実吉•菊池•能本監修,超音波技術便覧,(昭55),483,日刊工業.

Terms in the title (4)： 超音波顕微鏡 ,  研削 ,  熱影響 ,  計測