Art

J-GLOBAL ID：200902001938892529   Reference number：85A0332855

Ion implantation into strained-layer superlattices.

ひずみ層超格子へのイオン注入

Author (7)： PICRAUX S T (Sandia National Lab., NM) ,  ARNOLD G W (Sandia National Lab., NM) ,  MYERS D R (Sandia National Lab., NM) ,  DAWSON L R (Sandia National Lab., NM) ,  BIEFELD R M (Sandia National Lab., NM) ,  FRITZ I J (Sandia National Lab., NM) ,  ZIPPERIAN T E (Sandia National Lab., NM)
Material： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
Volume： 7/8  Issue： 1  Page： 453-460  Publication year： Mar. 1985 
JST Material Number： H0899A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： heterojunction ,...
Semi thesaurus term： ひずみ超格子

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JST classification (2)： Irradiational changes semiconductors  (BK16123E) ,  半導体-半導体接触【’81~’92】  (BM03072N)

Terms in the title (2)： ひずみ層超格子 ,  イオン注入