Art
J-GLOBAL ID:200902001944044793   Reference number:84A0474543

Измерение локальной толщины кристаллов и получение профилей распредения дефектов по глубине в ионно-легированных слоях кремния методом электронной микроскопии.

電子顕微鏡法を用いた結晶の局所的な厚みの測定とイオンドープシリコンの深さ方向の欠陥分布プロフィルの研究
Author (3):
Material:
Volume: 54  Issue:Page: 1330-1333  Publication year: Jul. 1984 
JST Material Number: R0141A  ISSN: 0044-4642  CODEN: ZTEFA  Document type: Article
Article type: 原著論文  Country of issue: Russian Federation (RUS)  Language: RUSSIAN (RU)
Thesaurus term:
Thesaurus term/Semi thesaurus term
Keywords indexed to the article.
All keywords is available on JDreamIII(charged).
On J-GLOBAL, this item will be available after more than half a year after the record posted. In addtion, medical articles require to login to MyJ-GLOBAL.
,...
   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=84A0474543&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=R0141A") }}
JST classification (1):
JST classification
Category name(code) classified by JST.
Lattice defects in semiconductors 

Return to Previous Page