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J-GLOBAL ID：200902001964500310
Reference number：93A0021077
MoS2スパッタ膜の潤滑特性(第1報) 膜性状・被膜寿命へのイオンボンバードの影響
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Author (2)：
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Material：
Volume：
1992-10
Page：
135-136
Publication year：
Sep. 1992
JST Material Number：
Y0047B
ISSN：
0919-6005
Document type：
Proceedings
Country of issue：
Japan (JPN)
Language：
JAPANESE (JA)
Terms in the title (6)：
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Keywords automatically extracted from the title.
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