Art

J-GLOBAL ID：200902001968139680   Reference number：84A0069682

A low energy ion gun for surface study.

表面研究のための低エネルギーイオン銃

Author (4)： YAMAUCHI Y (Osaka Univ.) ,  KAWATO E (Osaka Univ.) ,  SHIMIZU R (Osaka Univ.) ,  HASHIMOTO H (Osaka Univ.)
Material： Technology Reports of the Osaka University  (大阪大学工学報告)
Volume： 33  Issue： 1703-1740  Page： 327-333  Publication year： Oct. 1983 
JST Material Number： G0635A  ISSN： 0030-6177  CODEN： TROUA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ion source ,...

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JST classification (1)： Electron and ion sources  (BD02020U)

Terms in the title (3)： 研究 ,  低エネルギーイオン ,  銃