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J-GLOBAL ID：200902001974886322   Reference number：93A0306867

光路切替装置における微量液注入の基本特性

Author (3)： MAKIHARA MITSUHIRO (NTT 境界領域研) ,  SASAKURA KUNIHIKO (NTT 境界領域研) ,  NAGAYAMA AKIRA (NTT 境界領域研)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1992  Issue： Autumn 3  Page： 903-904  Publication year： Sep. 1992 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： 光路 ,  切替装置 ,  注入