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J-GLOBAL ID：200902001981895604   Reference number：91A0563457

2-Dimentional Process/Device Simulation of Self-Align Bipolar Device.

自己整合型バイポーラデバイスの2次元プロセス・デバイスシミュレーション

Author (4)： SHIMIZU NOBUYOSHI (沖電気工業) ,  OKITA YOSHIHISA (沖電気工業) ,  KURODA SHIGEKI (沖電気工業) ,  NISHI KENJI (沖電気工業)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 38th  Issue： Pt 2  Page： 651  Publication year： Mar. 1991 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： 自己整合 ,  バイポーラ ,  2次元 ,  プロセス ,  デバイスシミュレーション