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J-GLOBAL ID：200902001997090452
Reference number：91A0746819
CZシリコン中の欠陥核形成に及ぼす熱履歴の影響
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Author (1)：
Material：
Volume：
18
Issue：
1
Page：
12
Publication year：
1991
JST Material Number：
F0452B
ISSN：
0385-6275
Document type：
Article
Country of issue：
Japan (JPN)
Language：
JAPANESE (JA)
Terms in the title (4)：
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