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J-GLOBAL ID：200902002007004618   Reference number：91A0561547

Sub-Micron Gaps Without Sub-Micron Etching.

Author (4)： FURUHATA T (IBM Research, Tokyo, JPN) ,  HIRANO T (IBM Research, Tokyo, JPN) ,  GABRIEL K J (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  FUJITA H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1991  (Proc IEEE Micro Electro Mech Syst 1991)
Page： 57-62  Publication year： 1991 
JST Material Number： K19910274  ISBN： 0-87942-642-X  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)