CAD system for CGHs and laser beam lithography.

GEISER M H; TIAN R L; TIAN X K; YATAGAI T; ONDA H

Art

J-GLOBAL ID：200902002023846700 Reference number：91A0604171

CAD system for CGHs and laser beam lithography.

計算機ホログラムCADシステムとレーザビームリソグラフィ

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Volume： 38th Issue： Pt 3 Page： 845 Publication year： Mar. 1991
JST Material Number： Y0054A Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN) Language： ENGLISH (EN)

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