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J-GLOBAL ID：200902002047845674   Reference number：91A0563511

Estimation of grain-boundary trap state density in poly-Si TFT. (II).

Poly-Si TFTにおける粒界トラップ準位密度の評価 (II)

Author (5)： KATO NORIKAZU (富士ゼロックス) ,  YAMADA SO (富士ゼロックス) ,  NISHIHARA YOSHIO (富士ゼロックス) ,  FUSE MARIO (富士ゼロックス) ,  HAMANO TOSHIHISA (富士ゼロックス)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 38th  Issue： Pt 2  Page： 675  Publication year： Mar. 1991 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (6)： Si ,  TFT ,  粒界 ,  トラップ ,  準位密度 ,  評価