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J-GLOBAL ID：200902002086445136   Reference number：83A0305965

Emission line profile studies of electronic modulated inductively-coupled excited rf-EDL plasmas.

電子変調誘導結合励起rf-EDLプラズマの発光線プロフィルの検討

Author (1)： WALTERS P E (Univ. Stellenbosch, Republic of South Africa)
Material： Spectrochimica Acta. Part B. Atomic Spectroscopy  (Spectrochim Acta Pt B)
Volume： 38  Issue： 5/6  Page： 889-898  Publication year： 1983 
JST Material Number： B0793A  ISSN： 0584-8547  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： plasma application ,...

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JST classification (1)： Spectroanalysis  (CC03012W)

Terms in the title (7)： 電子 ,  変調 ,  誘導結合 ,  励起 ,  RF ,  プラズマ ,  プロフィル