Art

J-GLOBAL ID：200902002091972250   Reference number：95A0172274

Mechanism of photoacoustic laminated characterization of semiconductor wafers.

Author (2)： SHEN Y-C (Nanjing Univ., Nanjing, CHN) ,  ZHANG S-Y (Nanjing Univ., Nanjing, CHN)
Material： Proceedings. 14th International Congress on Acoustics, 1992, Vol.2  (Proc 14th Int Congr Acoust 1992 Vol 2)
Page： 119-120  Publication year： 1992 
JST Material Number： K19940918  Document type： Proceedings
Country of issue： China (CHN)  Language： ENGLISH (EN)