Art
J-GLOBAL ID：200902015482511740
Reference number：91A0563369
Thin Film SOI Formation by Solid Phase Epitaxy using Local Doping Technique.
局所ドーピング法による固相成長薄膜SOIの形成
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Author (4)：
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Material：
Volume：
38th
Issue：
Pt 2
Page：
615
Publication year：
Mar. 1991
JST Material Number：
Y0054A
Document type：
Proceedings
Country of issue：
Japan (JPN)
Language：
JAPANESE (JA)
Terms in the title (4)：
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Keywords automatically extracted from the title.
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