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J-GLOBAL ID：200902015503692855   Reference number：89A0088474

High efficiency high-repetion-rate KrF excimer laser.

高効率・高繰返しKrFエキシマレーザ

Author (3)： HOTTA KAZUAKI (日本電気 光エレクトロニクス研) ,  ARAI MOTOHIRO (日本電気 光エレクトロニクス研) ,  ITO SHINJI (日本電気 光エレクトロニクス研)
Material： 電子情報通信学会論文誌 C  (Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C)
Volume： 71  Issue： 12  Page： 1659-1668  Publication year： Dec. 1988 
JST Material Number： S0623A  ISSN： 0913-5723  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： excimer laser ,...

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JST classification (1)： Gas lasers  (BD04040E)

Terms in the title (2)： 高効率 ,  KrFエキシマレーザ