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J-GLOBAL ID：200902015510960857   Reference number：92A0000498

Cathodoluminescence from diamond films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition in dilute CO/H₂, CF₄/H₂, and CH₄/H₂ mixtures.

希薄CO/H₂,CF₄/H₂,CH₄/H₂混合でのプラズマ増強化学蒸着で成長させたダイアモンド膜からの陰極線ルミネセンス

Author (4)： GRAHAM R J (Arizona State Univ., Arizona) ,  POSTHILL J B (Research Triangle Inst., North Carolina) ,  RUDDER R A (Research Triangle Inst., North Carolina) ,  MARKUNAS R J (Research Triangle Inst., North Carolina)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 59  Issue： 19  Page： 2463-2465  Publication year： Nov. 04, 1991 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： thin film ,...

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JST classification (2)： Luminescence of inorganic compounds  (BM08093J) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (6)： CO ,  H2 ,  プラズマ増強化学蒸着 ,  成長 ,  ダイアモンド膜 ,  陰極線ルミネセンス