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J-GLOBAL ID：200902015522060827   Reference number：86A0404441

Silicon surface roughness - Structural observation by reflection electron microscopy.

シリコンの表面粗さ 反射電子顕微鏡による構造観察

Author (3)： HONDA K (Fujitsu Lab. Ltd., Kawasaki) ,  OHSAWA A (Fujitsu Lab. Ltd., Kawasaki) ,  TOYOKURA N (Fujitsu Lab. Ltd., Kawasaki)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 48  Issue： 12  Page： 779-781  Publication year： Mar. 24, 1986 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： wafer ,...
Semi thesaurus term： REM

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JST classification (2)： Surface structure of semiconductors  (BK15030A) ,  Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Terms in the title (4)： シリコン ,  表面粗さ ,  反射電子顕微鏡 ,  観察