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J-GLOBAL ID：200902015543637938   Reference number：91A0506014

Multichamber RIE Processing for III-V Optoelectronic Devices.

Author (3)： ROTHMAN M A (GTE Lab. Inc., MA) ,  THOMPSON J A (GTE Lab. Inc., MA) ,  ARMIENTO C A (GTE Lab. Inc., MA)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 1392  Page： 598-604  Publication year： 1991 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (1)： RIE