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J-GLOBAL ID：200902015601133040   Reference number：93A0046666

Large diameter microwave ion source with axial and multipole magnetic fields.

軸方向の磁場と多重極磁場を持つ大口径マイクロ波イオン源

Author (7)： NIHEI H (Univ. Tokyo, Tokyo) ,  ENOMOTO H (Univ. Tokyo, Tokyo) ,  MORIKAWA J (Univ. Tokyo, Tokyo) ,  INOUE N (Univ. Tokyo, Tokyo) ,  UCHIYAMA T (ULVAC Japan Ltd., Kanagawa) ,  HOSHINO A (ULVAC Japan Ltd., Kanagawa) ,  TAKAGI K (ULVAC Japan Ltd., Kanagawa)
Material： イオン工学会大会論文集  (Proceedings of the Meeting on the Ion Engineering Society of Japan)
Volume： 1st  Page： 79-82  Publication year： Jun. 1992 
JST Material Number： Z0828B  ISSN： 0918-287X  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： high frequency discharge ,...

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JST classification (2)： Electron and ion sources  (BD02020U) ,  Plasma devices  (BJ02082I)

Terms in the title (5)： 磁場 ,  多重極 ,  大口径 ,  マイクロ波 ,  イオン源