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J-GLOBAL ID：200902015640476990   Reference number：90A0597601

Aerosol deposition due to electrostatics.

特集 クリーンルームの静電気対策 静電気による微粒子の付着

Author (2)： SAKATA SOICHIRO (高砂熱学工業) ,  OKADA TAKAO (高砂熱学工業)
Material： 空気清浄  (コンタミネーションコントロール)
Volume： 27  Issue： 6  Page： 406-415  Publication year： Apr. 1990 
JST Material Number： G0779A  ISSN： 0023-5032  CODEN： KUSEBF  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： clean room ,...

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JST classification (2)： General  (NC03161C) ,  Air purification  (PC02060X)

Terms in the title (4)： クリーンルーム ,  静電気 ,  対策 ,  微粒子