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J-GLOBAL ID：200902015641367850   Reference number：92A0337378

Synthesis and Polymerizations of N-(tert-Butoxy) Maleimide and Characeristic Properties of its Polymer for Application as Chemical Amplification Resists.

N-(tert-ブトキシ)マレイミドの合成と重合及びそのポリマの化学的増幅レジスト応用のための特性

Author (2)： AHN K-D (Korea Inst. Science and Technology, Seoul, KOR) ,  KOO D-I (Korea Inst. Science and Technology, Seoul, KOR)
Material： Polymeric Materials Science and Engineering  (Polymeric Materials: Science and Engineering)
Volume： 66  Page： 249-250  Publication year： 1992 
JST Material Number： B0886A  ISSN： 0743-0515  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： copolymer ,...
Semi thesaurus term： maleinimide ,...

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JST classification (3)： Decomposition,deterioration,degradation of polymers  (CG03010A) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Various photographies  (ZA03040M)

Terms in the title (9)： TERT ,  ブトキシ ,  マレイミド ,  重合 ,  ポリマ ,  化学 ,  増幅 ,  レジスト ,  応用