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J-GLOBAL ID：200902015651391120   Reference number：90A0343330

A new stack capacitor for polysilicon active matrix arrays.

多結晶シリコン能動マトリックスアレイ用新積層キャパシタ

Author (5)： HUANG T-Y (Xerox Palo Alto Research Center, California) ,  LEWIS A G (Xerox Palo Alto Research Center, California) ,  WU I-W (Xerox Palo Alto Research Center, California) ,  CHIANG A (Xerox Palo Alto Research Center, California) ,  BRUCE R H (Xerox Palo Alto Research Center, California)
Material： Technical Digest. International Electron Devices Meeting  (IEEE International Electron Devices Meeting)
Volume： 1989  Page： 357-360  Publication year： 1989 
JST Material Number： C0829B  ISSN： 0163-1918  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： thin film transistor ,...

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JST classification (1)： Transistors  (NC03070N)

Terms in the title (4)： 多結晶シリコン ,  能動マトリックス ,  アレイ ,  積層キャパシタ