Art

J-GLOBAL ID：200902015676058086   Reference number：92A0807090

Normal-Incidence X-Ray Microscope for Carbon Kα Radiation with 0.5μm Resolution.

空間分解能が0.5μmの炭素Kα線用の垂直入射型X線顕微鏡

Author (5)： MURAKAMI K (Nikon Corp., Tokyo) ,  OSHINO T (Nikon Corp., Tokyo) ,  NAKAMURA H (Nikon Corp., Tokyo) ,  OHTANI M (Nikon Corp., Tokyo) ,  NAGATA H (Nikon Corp., Tokyo)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 31  Issue： 10B  Page： L1500-L1502  Publication year： Oct. 15, 1992 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： X-ray microscope ,...

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JST classification (1)： X-ray instruments and techniques  (BA02060D)

Terms in the title (5)： 空間分解能 ,  炭素 ,  α線 ,  垂直入射 ,  X線顕微鏡