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J-GLOBAL ID：200902015695710800   Reference number：81A0415378

半導体製造技術の向上に対するESCAの実用化と問題点

Author (1)： IWATA SEIICHI (日立 中研)
Material： 日本金属学会会報  (Bulletin of the Japan Institute of Metals)
Volume： 20  Issue： 10  Page： 831-837  Publication year： Oct. 1981 
JST Material Number： F0163A  ISSN： 0021-4426  CODEN： NKZKAU  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： X-ray photoelectron spectrum ,...
Semi thesaurus term： migration

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JST classification (2)： Electron spectroscopy  (BM09060K) ,  Electric conduction in semiconductors and insulators in general  (BM03041P)

Reference (23)：

• (1) K. Siegbahn, C. Nordling, A. Fahlman, R. Nordberg, K.Hamrin, J.Hedman, G. Johansson, T. Bergmark, S.E.Karlsson, I. Lindgren and B. Lindberg: ESCA-Atomic, Molecular and Solid State Structure by Means of Electron Spectroscopy, Nova Acta Reg. Soc. Sci. Uppsaliensis, Ser. IV, 20 (1967).
• (2) S. Iwata, A.Ishizaka and H. Yamamoto: J. Electrochem. Soc., 126 (1979), 110.
• (3) 岩田誠一, 石坂彰利: 日本金属学会誌, 42 (1978), 1020.
• (4) 岩田誠一, 石坂彰利, 山本博司: 日本金属学会誌, 41 (1977), 1161.
• (5) 岩田誠一, 石坂彰利, 山本博司: 日本金属学会誌, 45 (1981), 603.

Terms in the title (4)： 半導体製造 ,  ESCA ,  実用化 ,  問題点