Art

J-GLOBAL ID：200902015700078425   Reference number：90A0152896

Single-mode low-loss buried optical waveguide bends in GaInAsP/InP fabricated by dry etching.

ドライ・エッチングによりGaInAsP/InPに形成した単一モード低損失の埋込形光導波路曲り

Author (4)： SINGH J (British Telecom Research Lab., Ipswich, GBR) ,  HENNING I (British Telecom Research Lab., Ipswich, GBR) ,  HARLOW M (British Telecom Research Lab., Ipswich, GBR) ,  COLE S (British Telecom Research Lab., Ipswich, GBR)
Material： Electronics Letters  (Electron Lett)
Volume： 25  Issue： 14  Page： 899-900  Publication year： Jul. 06, 1989 
JST Material Number： A0887A  ISSN： 0013-5194  CODEN： ELLEAK  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： optical waveguide ,...

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JST classification (2)： Optical integrated circuits,integrated optics  (BD06050D) ,  Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H)

Terms in the title (8)： エッチング ,  GaInAsP ,  InP ,  単一モード ,  低損失 ,  埋込 ,  光導波路 ,  曲り