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J-GLOBAL ID：200902015701985400   Reference number：92A0073708

Dependences of the Magnetic Penetration Depth and the Resistivity of NbN Thin Films on the Sputtering Pressure.

NbN薄膜の磁界侵入長と常伝導抵抗率のスパッタ圧依存性

Author (5)： KOJIRO SATORU (電総研) ,  KIRYU SHUGO (電総研) ,  SHOJI AKIRA (電総研) ,  KODAIRA SHINJI (木更津工高専) ,  TAKADA SUSUMU (電総研)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 52nd  Issue： 1  Page： 118  Publication year： Oct. 1991 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (9)： NbN ,  薄膜 ,  磁界 ,  侵入長 ,  常伝導 ,  抵抗率 ,  スパッタ ,  圧 ,  依存性