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J-GLOBAL ID：200902015721286320
Reference number：92A0366134
Focused ion beams in microfabrication(invited).
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Author (1)：
Material：
Volume：
63
Issue：
4 Pt 2
Page：
2364-2366
Publication year：
Apr. 1992
JST Material Number：
D0517A
ISSN：
0034-6748
CODEN：
RSINAK
Document type：
Article
Country of issue：
United States (USA)
Language：
ENGLISH (EN)
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