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J-GLOBAL ID：200902015735272836   Reference number：86A0525306

Некоторые закономерности роста слоев алмаза из активируемой газовой фазы.

活性化気相からのダイヤモンド膜の成長に関する二三の法則
Author (4)：
BUJLOV L L

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Doklady Akademii Nauk SSSR  (Dokl Akad Nauk SSSR)

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Volume： 287  Issue： 4  Page： 888-891  Publication year： 1986 
JST Material Number： R0025A  ISSN： 0002-3264  CODEN： DANKA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Russian Federation (RUS)  Language： RUSSIAN (RU)
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Semiconductor thin films 
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