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J-GLOBAL ID：200902019724963883   Reference number：91A0604064

Phase-shifting micro-Fizeau interferometer with a laser diode and error analysis.

半導体レーザーを用いた位相シフトマイクロフィゾー干渉計とその誤差解析

Author (4)： EHARA KATSUNORI (ミツトヨ) ,  NAKAMURA TAIZO (ミツトヨ) ,  ONODERA RIBUN (職業訓練大) ,  ISHII YUKIHIRO (職業訓練大)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 38th  Issue： Pt 3  Page： 799  Publication year： Mar. 1991 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： 半導体レーザー ,  位相シフト ,  フィゾー干渉計 ,  誤差解析