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J-GLOBAL ID：200902023119436712   Reference number：91A0810270

Dry Turbo Vacuum Pump.

特集 微細プロセス装置 ドライターボ真空ポンプ「スカイトール」

Author (4)： NISHIUCHI AKIRA (日立 土浦工場) ,  MASE MASAHIRO (日立 土浦工場) ,  ARAI HAJIME (日立) ,  NAGAOKA TAKASHI (日立 機械研)
Material： 日立評論
Volume： 73  Issue： 9  Page： 903-906  Publication year： Sep. 1991 
JST Material Number： F0062A  ISSN： 0367-5874  CODEN： HITAA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： semiconductor integrated circuit ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Vacuum pumps  (QD04030I)

Terms in the title (4)： 微細 ,  プロセス装置 ,  真空ポンプ ,  トール