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J-GLOBAL ID：200902023157295863   Reference number：84A0161187

プラズマ重合スチレン薄膜の電気絶縁特性

Author (3)： NAKAMURA SHIYUHEI (三重大工) ,  MURATA TAKAAKI (三重大工) ,  SAWA GORO (三重大工)
Material： 電気学会絶縁材料研究会資料  (電気学会研究会資料)
Volume： EIM-83  Issue： 107-114  Page： 19-25  Publication year： Nov. 18, 1983 
JST Material Number： Z0908A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： plasma ,...

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JST classification (1)： Electric insulating materials  (YH06020F)

Terms in the title (4)： プラズマ重合 ,  スチレン ,  薄膜 ,  絶縁特性