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J-GLOBAL ID：200902023173326256   Reference number：92A0110417

Internal Stress of Diamond Thin Films by Hot Filament CVD Method. II.

熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド薄膜の内部応力 II

Author (3)： AIKAWA YUMI (日本電気 基礎研) ,  BABA KAZUHIRO (日本電気 基礎研) ,  SHOHATA NOBUAKI (日本電気 基礎研)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 52nd  Issue： 2  Page： 435  Publication year： Oct. 1991 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： 熱フィラメントCVD ,  ダイヤモンド薄膜 ,  内部応力