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J-GLOBAL ID：200902023287620391   Reference number：85A0239154

Elimination of hillocks on Al-Si metallization by fast-heat-pulse alloying.

高速熱パルス合金化によるAl-Siメタライゼーションの小丘状欠陥の除去

Author (2)： FAITH T J (RCA, New Jersey) ,  WU C P (RCA, New Jersey)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 45  Issue： 4  Page： 470-472  Publication year： Aug. 15, 1984 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： aluminum base alloy ,...

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JST classification (2)： 半導体-金属接触【’81~’92】  (BM03073E) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 熱パルス ,  合金化 ,  Al ,  Si ,  メタライゼーション ,  丘 ,  欠陥