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J-GLOBAL ID：200902023292740010   Reference number：92A0778828

Spectropolarimatric determination of energy input into the near-electrode region of a low-pressure high-frequency capacitive discharge.

低圧高周波容量性放電の電極付近へのエネルギー注入の分光偏光学的決定

Author (4)： DRACHEV A I (Leningrad State Univ.) ,  KAZANTSEV S A (Leningrad State Univ.) ,  RYS A G (Leningrad State Univ.) ,  SUBBOTENKO A V (Leningrad State Univ.)
Material： Optics and Spectroscopy
Volume： 71  Issue： 6  Page： 527-530  Publication year： Dec. 1991 
JST Material Number： H0143A  ISSN： 0030-400X  CODEN： OPSUA3  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Russian Federation (RUS)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： gas discharge ,...
Semi thesaurus term： 無極放電 ,...

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JST classification (2)： Plasma diagnostics  (BJ02090L) ,  Gas discharges  (BJ03020T)

Terms in the title (8)： 低圧 ,  高周波 ,  容量性 ,  放電 ,  エネルギー ,  注入 ,  分光 ,  偏光