Art

J-GLOBAL ID：200902023297354061   Reference number：83A0235456

Profile forming of a sub-micron radius circular cone-shaped diamond tool tip by ion sputter-machining.

イオンスパッタ加工によるサブミクロンの先端半径をもつ円すい形ダイヤモンド工具チップの形状成形

Author (2)： MIYAMOTO I (Tokyo Science Univ., Noda-shi) ,  TANIGUCHI N (Tokyo Science Univ., Noda-shi)
Material： Precision Engineering  (Precis Eng)
Volume： 5  Issue： 2  Page： 61-64  Publication year： Apr. 1983 
JST Material Number： A0734B  ISSN： 0141-6359  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： diamond tool ,...

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JST classification (1)： Special machining  (QC04000Y)

Terms in the title (6)： イオン ,  スパッタ ,  サブ ,  半径 ,  円すい形 ,  ダイヤモンド工具