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J-GLOBAL ID：200902023346404770   Reference number：88A0577862

Evaluation of surface layers by spectroscopy of ultrasonic reflections.

超音波反射スペクトラムを用いた膜の評価

Author (4)： TSUKAHARA YUSUKE (凸版印刷 総研) ,  SAITO MASAO (凸版印刷 総研) ,  NAKASO NORITAKA (凸版印刷 総研) ,  OHIRA KATSUMI (凸版印刷 総研)
Material： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
Volume： 88  Issue： 180  Page： 31-37(US88-29)  Publication year： Sep. 19, 1988 
JST Material Number： S0532B  ISSN： 0913-5685  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： thin film ,...

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JST classification (1)： Thin films in general  (BK14010X)

Terms in the title (3)： 音波反射 ,  スペクトラム ,  評価