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J-GLOBAL ID：200902131007886674   Reference number：99A1033077

Deep UV照射によるポリジメチルグルタールイミド高分子光導波路の作製

Author (4)： KOYANO TAKESHI (沖電気工業) ,  UEKAWA MASAHIRO (沖電気工業) ,  MAENO YOSHINORI (沖電気工業) ,  MITA JURO (沖電気工業)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 60th  Issue： 3  Page： 1084  Publication year： Sep. 01, 1999 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： UV照射 ,  高分子 ,  光導波路 ,  作製