Art

J-GLOBAL ID：200902131012599306   Reference number：99A0344393

Stage Cartesian self-calibration: A second method.

直交ステージの自己校正:第二の方法

Author (2)： TAKAC M T (IBM Corp., CA) ,  WHITTEY J (Leica, CA)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 3546  Page： 498-504  Publication year： 1998 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (1)： ステージ