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J-GLOBAL ID：200902131019114987   Reference number：02A0952619

最新FIB(集束イオンビーム)装置の紹介 TEM試料作製を中心としたナノ精度加工への応用

Author (5)： SADAYAMA SHORIN (セイコーインスツルメンツ) ,  YAMAMOTO YO (セイコーインスツルメンツ) ,  IWASAKI KOJI (セイコーインスツルメンツ) ,  YASAKA AKIHITO (セイコーインスツルメンツ) ,  ADACHI TATSUYA (セイコーインスツルメンツ)
Material： 分析電子顕微鏡討論会予稿集
Volume： 18th  Page： 68-73  Publication year： Sep. 19, 2002 
JST Material Number： L1546A  Document type： Proceedings
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *focused ion beam ,...
Semi thesaurus term： TEM

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JST classification (3)： Electron and ion microscopes  (BD02050B) ,  Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G) ,  Experimental operation and apparatus of basic chemistry  (CA02000Q)

Terms in the title (5)： FIB ,  集束イオンビーム ,  TEM ,  試料作製 ,  応用