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J-GLOBAL ID：200902131021432953   Reference number：01A0992737

フェムト秒レーザによるSiの穴あけ加工

Author (5)：
SAWADA HIROSHI

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(NECマシナリー)

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NINOMIYA TAKAFUMI

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KAWAHARA KOSUKE

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(宮崎大 大学院)

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KUROSAWA HIROSHI

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(宮崎大 工)

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YOKOYA ATSUSHI

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(宮崎大 工)

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Material：
精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)

About 精密工学会大会学術講演会講演論文集


Volume： 2001  Issue： 秋季  Page： 151  Publication year： Sep. 10, 2001 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)
Thesaurus term：
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*laser beam drilling

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Semi thesaurus term：
Thesaurus term/Semi thesaurus term
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thinning

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JST classification (1)：
JST classification
Category name(code) classified by JST.
Special machining 
(QC04000Y)

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Reference (1)：
  • 日本熱物性学会編. 熱物性ハンドブック. 1990, 231
Terms in the title (3)：
Terms in the title
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フェムト秒レーザ

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Si

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穴あけ加工

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