Art

J-GLOBAL ID：200902131025344315   Reference number：94A0336136

Si-rich surface layer of photochemically deposited silicon nitride.

Author (4)： WADAYAMA T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SHIBATA H (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KOBAYASHI T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  HATTA A (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Journal of Materials Science  (J Mater Sci)
Volume： 29  Issue： 4  Page： 1041-1044  Publication year： Feb. 15, 1994 
JST Material Number： B0722A  ISSN： 0022-2461  CODEN： JMTSAS  Document type： Article
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (2)： Si ,  RICH